⚙️ 大尺寸高品质碳化硅单晶衬底制备关键技术及应用

国家技术发明奖 · 2023年 · 二等奖

📅 2023年 ⚙️ 国家技术发明奖 🏅 二等奖
奖项名称
⚙️ 国家技术发明奖
奖励等级
🏅 二等奖
获奖年份
📅 2023年
完成单位
🏢 山东大学、山东天岳先进科技股份有限公司

📋 项目简介

大尺寸高品质碳化硅单晶衬底制备关键技术及应用是2023年度国家技术发明奖二等奖获奖项目,由山东大学、山东天岳先进科技股份有限公司完成。

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