人物简介
马克·博尔是英特尔公司最顶尖的制程技术专家之一,作为英特尔院士(Intel Fellow),他是Intel从1μm节点到14nm节点多代CMOS制程技术的核心领军人物,领导了高K金属栅(HKMG)、三栅晶体管(FinFET)等关键技术的研发和量产。
主要成就
领导英特尔45nm高K金属栅(HKMG)技术研发量产;推动22nm三栅(FinFET)晶体管量产;贡献于多代CMOS制程(从1μm到14nm);拥有400余项美国专利
详细介绍
Mark Bohr1953年出生于美国,1976年在伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校获得电子工程学士学位,1978年获得硕士学位,毕业后即加入英特尔公司,在英特尔工艺研发部门连续工作超过40年。他是英特尔制程技术研发团队的核心人物之一,几乎参与了英特尔所有关键技术节点的开发。1980年代,他在CMOS工艺可靠性和互连技术方面做出了重要贡献。2007年,博尔在英特尔开发者论坛(IDF)上正式发布了45nm高K金属栅(HKMG)技术,这是自MOSFET发明40多年来晶体管栅极材料最重大的变革——用高K介电质取代二氧化硅、用金属栅取代多晶硅栅,解决了65nm以下栅极漏电流剧增的难题。这一技术突破让英特尔在45nm时代领先竞争对手台积电和三星达两年以上。2011年,他又领导英特尔在22nm节点率先量产三栅极(Tri-Gate)三维晶体管,即3D FinFET,这是从平面晶体管到三维晶体管的历史性跨越,让摩尔定律继续延伸。博尔不仅技术造诣深厚,还以在国际电子器件会议(IEDM)等顶级学术会议上清晰阐述英特尔技术路线图而闻名,是英特尔技术对外发声的"代言人"。他一生获得超过400项美国专利,对CMOS缩放技术做出了系统性贡献。2018年从英特尔退休后,他继续担任行业顾问。
基本信息
所属机构
英特尔(Intel)
职务
Intel Senior Fellow
学历背景
伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校电子工程硕士
出生日期
1953年
国籍
美国
研究领域
CMOS制程技术、晶体管架构、高K金属栅
荣誉称号
IEEE Fellow英特尔最高技术荣誉Intel Senior FellowIEEE Cledo Brunetti奖IEEE Andrew S. Grove奖美国国家发明家名人堂入选者
知识图谱
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