人物简介
叶甜春（1961年生），中科院微电子所中国IC装备02专项总师，集成电路装备、光刻、02专项领域专家。曾获集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用、集成电路制造关键技术研究、集成电路设计等荣誉。
主要成就
02IC装备专项总师;国产光刻机刻蚀机推进
详细介绍
人物简介
叶甜春，1961年出生，中国IC装备02专项总师，主要从事集成电路装备、光刻、02专项领域的科研工作，任职于中科院微电子所，担任所长。
教育背景
叶甜春的教育经历：复旦大学。
主要成就
叶甜春02IC装备专项总师;国产光刻机刻蚀机推进
获奖情况
获得的科技奖励：2025年集成电路FinFET器件工艺核心技术及重大应用（二等奖）；2020年集成电路制造关键技术研究（二等奖）；2015年集成电路设计（二等奖）；2015年微电子技术（二等奖）；2013年集成电路制造关键技术研究（二等奖）；2011年集成电路制造关键技术研究（二等奖）；2005年亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究（二等奖）。
荣誉表彰
中国半导体行业协会副理事长。
基本信息
所属机构
中科院微电子所
职务
所长
学历背景
复旦大学
出生日期
1961年
国籍
中国
研究领域
集成电路装备、光刻、02专项
学科数据洞察
503+
同领域专家
6+
女性学者
106岁
领域平均年龄
209+
获奖人数
同领域专家
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