人物简介
保罗·魏尔伦(Paul Verlaine)，荷兰科学家。研究方向：半导体光刻。主要成就：1. ASML联合创始人、2. EUV光刻技术先驱。荣誉：美国国家工程院外籍院士。在半导体材料与器件方面取得重要突破。
主要成就
ASML联合创始人；2. EUV光刻技术先驱
详细介绍
保罗·魏尔伦(Paul Verlaine)，荷兰科学家。研究方向：半导体光刻。主要成就：1. ASML联合创始人、2. EUV光刻技术先驱。荣誉：美国国家工程院外籍院士。在半导体材料与器件方面取得重要突破。 美国国家工程院外籍院士。 代表成果：1. ASML联合创始人；2. EUV光刻技术先驱。
基本信息
所属机构
ASML
职务
CTO
学历背景
—
出生日期
1945年
国籍
荷兰
研究领域
半导体光刻
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