人物简介
贝尔实验室化学家1950年代初发明硅高温热扩散掺杂工艺精确控制PN结,是所有平面晶体管IC制造基础还参与发明硅太阳能电池。
主要成就
发明硅热扩散掺杂工艺;平面工艺IC制造基础;共同发明实用太阳能电池
详细介绍
富勒1902芝加哥芝加哥化学博士1930贝尔实验室,早期晶体管只有点接触生长结没法控制结深,富勒发明高温扩散掺杂硼磷蒸汽扩散进硅精确PN结深度浓度立刻让PN结制造可控是平面工艺IC基础,霍尔尼平面工艺仙童IC都建立在扩散工艺上。1954还用扩散做PN结发明硅太阳能电池1994去世。
基本信息
所属机构
贝尔实验室
职务
研究员
学历背景
芝加哥大学博士
出生日期
1902年
国籍
美国
研究领域
扩散掺杂、PN结、太阳能电池
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